Precision Cleaning Semiconductor 300mm / 200mm /（Both Cu & Non-Cu） DIFF / IMP / Etch / PVD / Litho, TFT / PVD / LED 精密清洗 12寸 / 8寸 /6寸以下（铜工艺/非铜工艺）半导体 沉积 / 离子植入 / 蚀刻 / 薄膜 / 黄光/ 研磨… 可清洗材质：陶瓷，石英，石墨，金属，及特殊涂层等 Chemical Cleaning                                   Mechanism Cleaning